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(1)手持式超聲研磨拋光，如圖4. 9所示。其超聲振動方向與加工件表面平衡，適用于模具表面及狹縫小孔的拋光。
(2)工件旋轉(zhuǎn)的超聲研磨裝置如圖4.10所示。超聲作縱向振動，振動方向與工件旋轉(zhuǎn)方向垂直。
(3)工具轉(zhuǎn)動并振動的超聲研磨裝置如圖4. 11所示。研磨過程中工件向前移動，振動方向與工件移動方向垂直。
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