電力電子技術和超聲波發生器的發展息息相關，電力電子技術階段性的進步會推動超聲波發生器的發展，而超聲波發生器的發展則會對電力電子技術的新階段發展產生影響。

根據超聲波發生器功放管采用的器件類型，將其發展分為幾個階段：

（1）早期的發生器采用的是電子管超聲波發生器，后來逐漸發展成為可控硅逆變式超聲發生器。然而，由于這些發生器存在很多缺點，如今已經不再使用。

（2）超聲波發生器采用了晶體管技術。這種發生器的成本不高，電子線路已成熟。然而，它的體積和重量都比較大，并且很難在諧振點上工作。受到功率管的限制，只能在小功率（300W以下）的場合使用。

（3）超聲發生器的集成化。第三代超聲波發生器采用全橋逆變器,配備電流型PWM和輔助保護電路,實現恒流控制,通過占空比調節來調整輸出電壓。該發生器具有很低的功耗,高可靠性的優點。

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